只有 GCA、K&S 和 Kasper 等很少幾家公司有做過一點點相關設備。 光刻技術在發展中不斷的優化,是一步一步從歷史的實踐中得出來的工藝,如果想另闢蹊徑,我們將面對的是未知的黑暗與技術深淵,其難度不低於研發出高階曝光機。 其中曝光機就是利用紫外線波長的準分子雷射通過模版去除晶圓表面的保護膜的裝置。 曝光是製造流程中最關鍵的一步,曝光確定了晶片的關鍵尺寸,在整個晶片的製造過程中約佔據了整體製造成本的35%。 (2)排定各產品族的標準製程:旺宏生產的產品眾多,在計算標準製造成本時,則以產品族作為產品分項的基礎,以減少計算時的複雜度。
- 綜觀所有第三代半導體的終端應用,目前市佔最大、發展最成熟的就是電動車領域。
- 近期,傳統的矽(Si)半導體則因為物理限制的關係,逐漸無法符合市場需求,於是第三代半導體氮化鎵(GaN,鎵音同家)因勢興起,開始應用在快速充電產品、電動車領域。
- 如今,二極體仍然在一些高功率應用場合中使用,由於能夠承受瞬變和較好的魯棒性,使得他們比半導體元件的優勢能夠顯現出來。
- 例如永光化學為了開發自有半導體光阻技術,投資 23 年時間才完成。
在半導體材料領域中,第一代半導體是「矽」(Si),第二代半導體是「砷化鎵」(GaAs),第三代半導體(又稱「寬能隙半導體」,WBG)則是「碳化矽」(SiC)和「氮化鎵」(GaN)。 常見的品質問題包括晶格的位錯(dislocation)、孿晶面(twins)或是堆垛層錯(英語:Stacking-fault energy)(stacking fault)[8] 都會影響半導體材料的特性。 對於一個半導體元件而言,材料晶格的缺陷(晶體缺陷)通常是影響元件性能的主因。 電子和電洞的等效質量不相等,這也造成了兩者的遷移率不同,進而讓「N-通道」和「P-通道」的金屬氧化物半導體場效電晶體導電性不同。
半導體應用: 半導體是什麼?
廣運總經理柯智鈞表示,廣運今年正式成立半導體事業群,並以 2023 年為廣運半導體元年,提供製程的自動化解決方案,使產能及效率最佳化,並解決客戶人力需求壓力,會中展示 ESG 物流智慧製造,搶攻半導體市場商機。 當傳統元件結構面臨挑戰時,陸續開發提出許多高度利用半導體本質特徵做為新穎電晶體的結構。 在2004年IBM做出奈米碳管穿隧場效電晶體,其SS約僅40 mV∕decade。 這元件主要利用PN接面間的穿隧機制進行通與不通的開關,是高度量子力學穿隧效應的展現。 當時提出的元件相當簡要但前瞻,含有一半導體鍺材料,兩點很緊密靠近的金箔由一彈簧連接固定,這金箔越過一個三角形狀的塑膠尖角並予以細緻切開定型,達到非常接近但是斷開的雙金屬端,因此這個元件稱為鍺點接觸型電晶體。 電晶體是積體電路中最重要的元件之一,它的功能決定了整體電路的優劣,可謂現今半導體界的重要技術指標。
4.決策分析支援:契約訂定時,可用標準成本作為售價、收益的評估標準;以及在有關製造產品的組合方面,也可用標準製造成本分析作為決策的支援。 (1)依分攤率及產品標準製程將部門成本攤到產品成本上:將各產品標準製程中預定通過各作業的次數,乘上各作業的分攤率,即為各產品的標準製造成本。 而旺宏目前的生產策略則受到以上決策和與NKK聯盟所爭取到的客戶(任天堂)所影響,目前的產品以Mask ROM為主,而且此類產品的規格不一,隨訂單的要求而改變,可視作一種少量多種的產品模式,不同於一般製造DRAM、SRAM的工廠。 如表五所示,旺宏電子公司產品以記憶體IC中的非揮發性記憶體為主,在95前半年銷值占全公司營業額的75%;此外微元件和邏輯IC也占了11%。
半導體應用: 功能
研究者們一直致力於開發有機發光半導體在從背光、低容量顯示器到高容量顯示器領域的應用。 這個參數對於半導體材料而言十分重要,例如它和電子或電洞的遷移率(electrons or holes mobility)有高度關聯。 在絕對零度時,材料內電子的最高能量即為費米能階,當溫度高於絕對零度時,費米能階為所有能階中,被電子佔據機率等於0.5的能階。 半導體材料內電子能量分佈為溫度的函數也使其導電特性受到溫度很大的影響,當溫度很低時,可以跳到導電帶的電子較少,因此導電性也會變得較差。 接著,MIT 電機工程與電腦科學學系Yoon Kim助理教授 (Department of Electrical Engineering and Computer Science) 提到大型語言模型為自然語言處理帶來的新典範。
- 而在穩定性與耐高溫、耐高壓的優勢之外,GaN同樣擁有良好的導電性、導熱性。
- 電動車中的DC/DC轉換器將電池輸出的電壓轉換成適合供應輔助系統的電壓。
- 但問題在於,這兩家公司,一個來自日本,一個來自荷蘭,都不是本土企業。
- 另一個帶動第三代半導體發展的應用,莫過於功率半導體元件(又稱 Power Electronics 電力電子元件)。
常見的半導體材料有:第一代(另一種定義/說法:第一「類」)的矽、鍺,第二代(類)的砷化鎵、磷化銦,第三代(類)的氮化鎵、氧化鋅、氮化鋁、碳化矽等;而矽更是各種半導體材料中,在商業應用上最具有影響力的一種。 以最快的時間,將質量最好的產品推向市場,是我們一貫的目標;但盡可能以最低的成本生產晶片也同樣重要。 傳統的晶片設計公司,可以使用現有的資料中心來進行 半導體應用 EDA 解決方案。 即便如此,為了管理成本,他們可能仍會選擇混合的工作流程,在運算需求突增的期間,利用雲端資源來補足本地資源的短缺。
半導體應用: IC 設計:
自1960年聯合國特別基金會核準在交大電子研究所設立「遠東電子電信訓練中心」,遂於1964年建立「矽平面電晶體技術」,以迄行政院于1988年核準建立「國家毫微米元件實驗室」,為研發的一條軌跡。 另外,產業的萌芽肇始於1970年萬邦電子公司的成立,1976年工研院電子研究中心引進RCA的7微米CMOS技術,1980年以3微米技轉聯華電子公司的成功,以迄1994年次微米計畫技轉8吋DRAM廠的世界先進半導體製造公司。 從此我國各大企業如台塑、永豐裕等紛紛轉型建設8吋廠,使我國正式進入以韓、台為主的世界半導體製造中心。 積體電路(IC),是將一電路設計,包括線路及電子元件,做在一片矽晶片上,使其具有處理資訊的功能,有體積小、處理資訊功能強的特性。 依功能可將IC分為四類產品:記憶體IC、微元件、邏輯IC、類比IC。 目前,砷化鎵(GaAs)的高頻元件已被用於移動終端的功率放大器中已有多年的歷史,並已成為僅次於GaN高頻元件的第二大市場。
隨著電動車及5G通訊兩大領域的快速成長,各廠商無不費盡心思搶奪這塊市場大餅。 第三類化合物半導體作為上述兩大迅速成長領域的基本元件,競爭尤為激烈,各廠商併購不斷以求爭取自身最大競爭優勢。 但隨著半導體業開始受到各國政府的重視,保護主義有逐漸興起的態勢,從臺灣環球晶收購德國世創、美國輝達收購日本安謀的失利可見端倪。 熱門領域的快速發展以及各國保護主義的興起,讓全球半導體業的發展更加撲朔迷離,臺灣也可趁此機會思索如何在維持半導體的產業優勢,並在此優勢下思考如何切入全球第三類半導體的市場。 半導體功率元件,特點為大功率、快速化,是電子裝置的電能轉換與電路控制的核心。
半導體應用: 全球半導體製造產業發展回顧與2023年展望
雖然目前單個SiC元件的成本高於傳統Si元件,但SiC元件模組由於功耗、體積等特性表現相較過去Si材料在電池、冷卻成本降低、進一步增加車內空間,因此對電動車或油電混合動力汽車市場極具吸引力。 故未來SiC Power Device市場規模最大的應用為汽車領域,主要在歐洲與中國的大型商用車與高階車款,之後會逐漸朝向中低階車款進行滲透。 早期因為GaN和傳統的半導體Si特性不同,開發初期遇到許多瓶頸,直到近期才應用GaN-on-Si基板大幅降低了製作成本,成熟的生態鏈也讓商品價格逐漸降低。 不過,雖然目前第三代半導體的發展以GaN最為迅速,但仍然有其困境,例如GaN的損傷容易影響元件效果,且GaN-on-Si的「異質磊晶」技術讓GaN的品質仍然有所疑慮,因此GaN仍然以消費性電子產品為主,至於高階車廠會偏向選擇SiC元件,因為SiC在可靠性、更高電壓和散熱度上更具有優勢。 本課程將深入淺出介紹半導體基本原理(含先進Strain Si, FINFFET, GAAFET元件與第三代半導體介紹)及應用、半導體製造流程及各個製程模組之詳細介紹 半導體應用2023 (包括先進/新世代微影技術)。 課程更要學員了解完整的新世代半導體製程技術原理與技術前後之關聯性,並且介紹以矽為主要材料之半導體製程技術,課程內容上包括VLSI半導體前段製程與後段金屬連導層製程之詳細說明,也講授積體電路完整製作流程後的晶圓IC良率考量、允收測試及PCM數據與SPice模型之關連性。
若以基板技術來看,GaN 基板生產成本較高,因此 GaN 元件皆以矽為基板,目前市場上的 GaN 功率元件以 GaN-on-Si(矽基氮化鎵)以及 半導體應用 GaN-on-SiC(碳化矽基氮化鎵)兩種晶圓進行製造。 GaN 為橫向元件,生長在不同基板上,例如 SiC 或 Si 半導體應用 基板,為「異質磊晶」技術,生產出來的 GaN 薄膜品質較差,雖然目前能應用在快充等民生消費領域,但用於電動車或工業上則有些疑慮,同時也是廠商極欲突破的方向。 半導體元件可以通過結構和材料上的設計達到控制電流傳輸的目的,並以此為基礎構建各種處理不同訊號的電路。 和本徵半導體的價電子比起來,施體電子躍遷至導帶所需的能量較低,比較容易在半導體材料的晶格中移動,產生電流。
半導體應用: 半導體
日前,鴻海以 25.2 億買下旺宏 6 吋晶圓廠,布局 SiC 晶圓製造,便是搭上這股順風車,不過,鴻海欲藉以跨入電動車應用領域,關於 SiC 應用於電動車的部分,文後會有進一步探討。 回歸 5G 基地台及衛星通訊方面的應用實例,尚有長居 GaAs 代工龍頭之位的穩懋,該公司不僅擴充 GaN-on-SiC 產能並處於穩定出貨的狀態。 據 Yole Development 預估,GaN-on-SiC 元件市場,將從 2020 年的 3.42 億美元(約新台幣 95.57 億元)成長至 2026 年的 20.22 億美元(約新台幣 565 億元),CAGR 達 17%。
壓電材料如氮化鋁(AlN)、鋯鈦酸鉛(Pb(Zr1-xTix)O3, PZT)等等,具備將機械能與電能互相轉換的特性,稱之為壓電效應,而根據其能量轉換的方式,可進一步區分正壓電、逆壓電效應。 逆壓電效應是將輸入的電訊號轉換為壓電材料的線性形變(電能轉換為機械能),如圖 5 所示,多膜層堆疊的懸浮微機械結構,將使懸浮微機械結構頂端產生顯著的位移輸出,此設計即壓電致動器。 如果把線路寬度比喻成馬路,過去製造的線路寬度有如大馬路,一輛小汽車卡在路中間還不會塞車,但現在製造的線路寬度和過去相比,有如鄉間小道,甚至只水溝般大小,同樣一輛車會讓路線完全堵住,材料過去尚能容忍的「雜質」,就像拋錨的汽車,成了必須嚴格管控的品質殺手,台積電對半導體材料的品質要求大幅提高。 他指出在人口持續成長且消耗大量能源的現代社會,如何有效率提升能源轉換、減少能源浪費跟降低碳排放量,是全世界科學家關注的議題。 鴻海研究院諮詢委員、中研院院士暨陽明交大前校長張懋中博士指出,政府與產業界對於半導體下一步發展的思維及布局,會是決勝負關鍵。 資料來源:東芝Device&storage;工研院產科國際所 ITIS研究團隊(2020/06)
半導體應用: GaN 快充與車用 SiC 元件齊發功,第三代半導體一飛沖天兩大催化劑
實際的元件雖然處於逆向偏壓狀態,也會有微小的逆向電流(飽和電流、漏電流、漂移電流)通過。 當逆向偏壓持續增加時,還會發生隧道擊穿或雪崩擊穿或崩潰,發生急遽的電流增加。 半導體應用2023 在陽極側施加相對陰極負的電壓,就是逆向偏壓,所加電壓為逆向偏壓(reverse bias)。 這種情況下,因為N型區域被注入電洞,P型區域被注入電子,兩個區域內的主要載流子都變為不足,因此結合部位的空乏層變得更寬,內部的靜電場也更強,擴散電位也跟著變大。 在汞弧閥(具有冷陰極的汞蒸氣離子閥)中,一種難熔的導電陽極與一池作為陰極的液態汞之間會形成電弧,電壓單位可達數百千瓦,這對高壓直流輸電的發展起到了促進作用。
研調機構集邦科技報告顯示,估2023年氮化鎵市場規模達5.57億美元,2026年成長至17.68億美元,年複合成長率高達57%,商機龐大可期。 工研院產科國際所預估2023年台灣IC產業產值達新臺幣42,496億元(USD$142.6B),較2022年衰退12.1%。 其中IC設計業產值為新臺幣10,760億元(USD$36.1B),較2022年衰退12.7%;IC製造業為新臺幣2... 首先就 5G 而言,今後不論是 Sub-6(6GHz以下頻段)或 mmWave 毫米波(24GHz 以上頻段)的基礎設施佈建都需要大量的天線、射頻元件及基地台,這正是 GaN 發揮自身高頻、高功率、大頻寬、低功耗與小尺寸等優勢的最佳用武之地。 高溫性能測試需要模擬高溫環境,同時保持可靠的測試精度,以評估元件在極端條件下的性能和可靠性。 ●能源轉換與儲存:SiC和GaN半導體在能源轉換具有很高效率,特別是在太陽能逆變器、電動車充電器以及工業變頻器等高效率轉換應用。
半導體應用: 全球供應鏈重組對臺灣經濟與產業之影響
面對研發瓶頸時,不應只聚焦製程的改善,還要從量測及認證的角度來思考。 「仰賴以往的破壞式檢測,將導致製程變數大且時程拖延;若能將量測整合於製程中,從前段的長晶、磊晶到後段的元件、系統,每一步驟都即時改善製程,相信臺灣可以稱霸全球。」他也強調認證的重要性,唯有建立安全認證、功能認證及符合國際法規的作法,才能搶下國際市場的入場券。 半導體被喻為21世紀的石油,人類未來生活已不能缺少半導體,臺灣半導體產業發展40多年取得世界關鍵地位,更發揮技術與產能優勢,以「護國群山」之姿庇蔭國家與國人,未來更將乘勢而上,發揮無所不在的影響力。 目前中國SiC全球市占率尚低,但SiC設備已有自製自研能量,由於內需龐大,未來潛力不容小覷。 中國也透過政策補貼促進產業發展,該國兩家重要SiC廠商三安光電、天科合達,過去兩年接受的補貼金額即超過1,500萬人民幣,天科合達2019年稅前盈餘更有7成來自補貼。 日本政府在第六代行動通訊(6G)重要藍圖中,將化合物半導體納入重點項目,以滿足未來超低功耗的需求。
台灣在矽基(silicon-based)半導體發展成就非凡,至今保持領先地位,然而矽在高功率和高頻設備中幾乎已達到理論上的性能極限,因此,接下來最被看好的是化合物半導體。 張懋中強調,儘管電晶體密度愈來愈高,但是個別電晶體的效能(performance)並沒有更好。 美國一方面大動作圍堵中國半導體發展,一方面也積極佈局東亞的半導體合作動向。 同時間日本也在「經濟安全保障」倡議下,重整半導體生產基礎建設與投入新技術開發。
半導體應用: 半導體的摻雜
台積電用於先進製程,是特殊處理過的超純水,水中金屬離子數量低到幾乎不導電,但何軍打出一張投影片顯示,在電子顯微鏡下,原本應該平整的晶圓表面附了一顆金屬粒子,「水的品質不確定,就意味著風險」。 這也就是為什麼,台積電到半導體龍頭英特爾廠區旁設廠,還要大費周章帶台灣供應鏈過去的原因之一。 可以說,少了這些台灣半導體材料公司,台積電也難有這麼高的獲利,這裡面有許多早已是全亞洲知名的公司。 3 月 6 日,南科 18 廠四期 FAB 棟正式動工,南科 30 公頃的基地,比台北中正紀念堂還大,這裡將成為台積電 3 奈米製程的重要據點。
晶體矽通常呈正四面體排列,每一個矽原子位於正四面體的頂點,並與另外四個矽原子以共價鍵緊密結合。 而無定性矽不存在這種延展開的晶格結構,原子間的晶格網絡呈無序排列。 由於這種不穩定性,無定形矽中的部分原子含有懸空鍵(英語:Dangling bond)。 然而,這些懸空鍵可以被氫所填充,經氫化之後,無定形矽的懸空鍵密度會顯著減小,並足以達到半導體材料的標準。 但很不如願的一點是,在光的照射下,氫化無定形矽的導電性能將會顯著衰退,這種特性被稱為SWE效應(Staebler-Wronski_Effect)。
半導體應用: 半導體應用市場商機:數位與電動化趨勢 (研討會簡報)
然而,透過化合物半導體中,包括應用氮化鎵和碳化矽等特性,將有助實現縮小車用元件尺寸。 因此,藉由氮化鎵和碳化矽取代矽半導體,減少車用元件切換時的耗能已逐漸成為可能。 應用面上,SiC-MOSFET的應用集中在高頻高壓的產品,如PV(Photovoltaic;太陽能光電)、EV(Electric Vehicle;電動車)充電、智慧電網、汽車相關應用(如車載充電器、逆變器)、基礎設施(伺服器)、電源儲能、充電站等領域,其中在車用領域潛力最大。
而相反地,半導體也可以吸收光子,透過光電效應而激發出在價帶的電子,產生電訊號。 這即是光探測器的來源,在光纖通訊或是太陽能電池的領域是最重要的元件,也是相機中CMOS Image Sensor主要的運作原理。 30多年前,該公司首度在新加坡建立了業務和服務據點,2010年,它在這裡設立了它在亞洲第一個先進半導體設備製造中心。 各家雲端的價格確實有所不同,因為有些供應商允許透過競標的方式來提供運算服務,導致費率因需求而異。