另外,台灣也需要突破基板製造的技術;例如,製造通訊IC需要絕緣碳化矽基板,如果台灣有能力自製基板,穩懋和宏捷科的發展會更為快速。 此外,也因為材料的不同,許多製程必須透過不同的機器來執行,無法與過去的矽製程設備完全通用,因此,機器生產製造商與晶圓代工的製造商必須共同討論製程研發的需求,以開發適用的機器設備。 現階段,由於台灣的第3類半導體產業尚未規模化發展,市場上並沒有相關的機器設備供應商。
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碳化矽基板: 市場剛起步 誰能成為下個勝利者?
受限於材料本身的特性,氮化鎵基板(目前用於功率元件的基板,還在研發階段)尚未量產,即使做成了氮化鎵基板,成本也高達2000~3000美元,比一般矽基板(僅35~55美元)貴上許多。 因此,氮化鎵大多是在矽、碳化矽或藍寶石基板上磊晶,以加速產品上市時間。 碳化矽基板 目前,中國也拚命投資第3代半導體,如華為投資碳化矽磊晶公司瀚天天成;長期生產LED的三安光電,也因為使用的材料相近,發展受到矚目。 但業界人士透露,以三安光電為例,化合物半導體產能約為1500片,跟台灣穩懋、宏捷科數萬片的產能相比,仍有不小差距。 《財訊》報導指出,這種化合物半導體目前主要仍在六吋的設備上生產,但台積電的技術現在已能改用8吋設備生產,效率更高。
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- 就難度來講,碳化矽磊晶的挑戰相對較小,因為碳化矽採用的磊晶材料與基板相同,晶格匹配度較高,主要用途是優化晶圓的晶體結構和品質。
- 第三代半導體生產成本高昂,放量生產仍有難度,現階段國內外廠商都朝著策略結盟,透過加強上下游垂直整合能力,將良率提升、降低成本,最終量產。
- 然而,隨著產業的發展和半導體製程的演進,在設計、技術研發上的成本拉高,生產製造的費用也不停墊高,半導體產業鏈一條龍的運作模式逐漸出現轉變,半導體市場逐漸走向專業分工,例如晶圓、IC設計、製造代工、封測等流程,形成更多半導體產業的切分。
其二則是要導入8吋產品,還得通過能否穩定供應的考驗,若無法穩定供應,客戶可能也不會冒風險買單;其三,8吋設備難取得,且一些sensor或MCU對傳統的產品仍有需求,供應商也不一定有意願將產能提早轉到8吋。 長成晶柱的碳化矽晶錠,首先會切割成晶片,經過機械研磨、化學侵蝕,將表面磨得光滑如一面鏡子,最後成為積體電路(IC)基板。 要生產出碳化矽(SiC)單晶(monocrystal或single crystal)基板,須從長晶(生長碳化矽單晶)做起,作法是將碳化矽粉體倒入長晶爐,在高溫且密閉的空間使其昇華,讓晶源粉末的蒸汽冷凝後,附著在碳化矽晶種上。 寬能隙半導體中的「能隙」(Energy gap),如果用最白話的方式說明,代表著「一個能量的差距」,意即讓一個半導體「從絕緣到導電所需的最低能量」。
碳化矽基板: 台積電、中美晶、漢民 主要逐鹿者
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漢民集團則是最早布局化合物半導體的公司,在結束瀚薪之前,漢民從車用化合物半導體晶片設計(瀚薪),基板和磊晶技術(嘉晶),到代工製造(漢磊),體系十分完整。 漢磊也是台灣少數同時能製造氮化鎵和碳化矽晶片的公司,也因此,瀚薪的解散更讓人覺得不尋常。 碳化矽基板 同時,中美晶也在悄悄整合資源,另一路布局切入車用第3代半導體市場。 結果,高通生產出來的矽晶片非常燙,完全沒辦法用在手機上;後來,連高通都回頭跟穩懋下單。 《財訊》報導指出,業界人士觀察,通訊會愈來愈往高頻發展,未來高頻通訊晶片都是化合物半導體的天下,王尊民觀察,這個領域也是化合物半導體製造毛利率最高的部分,像穩懋和宏捷科的毛利都在3~4成。 以台灣來看,強攻第三代半導體的集團分別有中美晶集團、漢民集團、廣運集團。
碳化矽基板: 碳化矽廠紛擴 8 吋產線,台廠如何看待因應
法國雷諾汽車也宣布,和意法半導體結盟,所需的碳化矽晶片由意法半導體獨家供應。 2019年,德國福斯集團跟美國Cree合作,由Cree獨家和福斯合作發展碳化矽技術,同年Cree也宣布投資10億美元,興建巨型碳化矽工廠。 所有人都已經看到,過去汽車是否省油,是由引擎決定,未來電動車要如何省電,則是由第3代半導體技術決定。
第三代半導體生產成本高昂,放量生產仍有難度,現階段國內外廠商都朝著策略結盟,透過加強上下游垂直整合能力,將良率提升、降低成本,最終量產。 SiC 是由矽(Si)與碳(C)組成,結合力強,在熱量上、化學上、機械上皆安定,由於低耗損、高功率的特性,SiC 適合高壓、大電流的應用場景,例如電動車、電動車充電基礎設施、太陽能及離岸風電等綠能發電設備。 第三代半導體在高頻狀態下仍可以維持優異的效能和穩定度,同時擁有開關速度快、尺寸小、散熱迅速等特性,當晶片面積大幅減少後,有助於簡化周邊電路設計,進而減少模組及冷卻系統的體積。 在半導體材料領域中,第一代半導體是「矽」(Si),第二代半導體是「砷化鎵」(GaAs),第三代半導體(又稱「寬能隙半導體」,WBG)則是「碳化矽」(SiC)和「氮化鎵」(GaN)。 另外8吋的設備也難取得,雖然最近有點鬆,但現在電動車需要傳統的產品,像sensor MCU,相對不一定有那麼多供應商願意轉換到8吋。
碳化矽基板: 基板(Substrate):在黑盒子中製造長晶,難度最高
目前台灣在碳化矽的全球供應鏈占比約7.8%,散布在不同領域內,包括長晶/基板階段有漢民集團、環球晶、中砂轉投資的穩晟、廣運集團以及鴻海轉投資的盛新;磊晶階段則有嘉晶;代工端則有台積電、漢磊、世界、茂矽,其他包括在模組封裝、系統端都有廠商著墨。 IC設計的好壞,不僅受上游晶圓製作的影響,也與下游晶圓代工的環節息息相關。 國立中央大學校長副校長綦振瀛指出,製作第3類半導體晶片,IC設計商一定要與晶圓代工廠密切合作,確保設計出來的產品能夠有相對應的製程,才能做出元件。 長期而言,碳化矽基氮化鎵(GaN on SiC)被視為是未來的主流技術,因為碳化矽基板的導熱性優異,氮化鎵磊晶層的品質較佳,適合高溫、高頻、高功率的產品,如5G基地台、低軌衛星應用。 出於成本考量,加上與互補式金屬氧化物半導體(CMOS)製程相容,現階段主流的氮化鎵技術是將氮化鎵磊晶長在矽之上的矽基氮化鎵(GaN on Si)方案。 台積電即是採用此晶圓代工技術,為第3類半導體元件龍頭納微半導體(Navitas)代工生產氮化鎵功率元件。
第3代半導體是目前高科技領域最熱門的話題,不只中國想要這個技術,從歐洲、美國到台灣,所有人都在快速結盟,想在這個機會裡分一杯羹。 至於 GaN-on-SiC 的關鍵材料 SiC 基板,製程更是繁雜、困難,過程需要長晶、切割、研磨。 生產 SiC 的單晶晶棒比 Si 晶棒困難,時間也更久,Si 長晶約 3 天就能製出高度 200 公分的晶棒,但 SiC 需要 7 天才能長出 2 到 5 公分的晶球,加上 SiC 材質硬又脆,切割、研磨難度更高。 從技術層面來看,GaN-on-Si 和 GaN-on-SiC 有不同問題待解決,除了製程困難、成本高昂外,光是材料端的基板、磊晶技術難度就高,因此未能放量生產。
碳化矽基板: 相關連結
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這項技術發展成熟之後,台積電舊有的8吋廠,由於折舊早已完成,換上化合物半導體新應用,獲利還會進一步提高。 碳化矽基板 目前的電動車主要是200V-450V的電池動力系統,更高階的車款則將推進到800V的電池動力系統。 市場對於延長電池的續航力、增加電池容量,及縮短充電時間等有極大需求,電池將朝高電壓800V的方向發展,這使能承受高電壓的SiC被寄予厚望。 根據意法半導體的觀察,只要是800V的電池動力系統,都將會是SiC的市場。 SiC的寬能隙 (Band Gap) 比現有Si (矽) 的能隙寬度寬3倍以上,可承受10倍以上的電壓,SiC的低損耗、高功率特性適用在高電壓與大電流的應用場域,包含電動車、電動車充電基礎設施、太陽能以及離岸風電等綠能發電設備。
碳化矽基板: 未來技術發展 攸關電動車省電能力
「矽基本上是一種相當全能的材料。」工研院產業科技國際策略發展所研究總監楊瑞臨觀察。 隨著各國的綠能政策推動、碳排放標準的限制,電動車銷售量預估到2030年將達到2200萬輛,市場規模成長近10倍。 美國與歐洲,多國政府領袖宣佈將於2035年,汽車全面採用乾淨能源。 此外,SiC 基板原料大多仰賴國外進口,但許多國家將 SiC 材料視為戰略性資源,台廠要取得相對困難,原料價格也高;相較於 SiC、GaN-on-Si 可用於車用市場和快充,GaN-on-SiC 應用方向不夠明確,因此全力投入開發仍需要一段時間。 另外,SiC 碳化矽基板2023 本身是「同質磊晶」技術,所以品質好、元件可靠度佳,這也是電動車選擇使用它的主因,加上又是垂直元件,因此功率密度高。 陳佐銘補充,IC設計過程中,需要考量材料品質而調整設計,若只是將設計做得很理想,但後端製程做不到設計要求也是徒勞。
觀察台灣在第三代半導體的布局進度,除了要先克服技術瓶頸,還面臨國外大廠發展多年、技術領先,再加上中國「十四五規劃」將砸 10 兆人民幣、在 5 年內全力發展第三代半導體,打算來個「技術大超車」。 作為半導體供應鏈關鍵要角的台灣,也已開始積極布局,盼能急起直追,在這場關鍵的第三代半導體戰役上,台灣產業有不能輸的壓力。 依估計,碳化矽的市場規模在2027年可達63億美元,年複合成長率達34%,碳化矽具有寬能隙材料的優勢,高熱傳導、高頻以及高功率,在物理表現上非常好,主要市場在車用,其他為工業設備以及能源相關。 張翼分析,台灣的主要優勢是技術研發的速度快、成本低,如果可以結合過去矽的產業聚落,即使投入的時間、資金落後於歐美國家,未來在量產時不一定會持續落後,甚至有可能反轉局勢。 中美晶則是另一股積極投資第3代半導體的勢力,除了去年底成為宏捷科最大股東,切入通訊用化合物半導體製造外,本刊採訪得知,中美晶旗下環球晶第3代半導體基板技術也逐漸成形,但仍需克服良率和成本問題。